多層膜ミラーによる硬X線Sub-10nm集光と顕微鏡への応用

抄録

放射光施設において、Ｘ線集光ビームは様々な顕微鏡の空間分解能と検出感度の向上に不可欠である。本研究では、硬X線をSub-10nmサイズに集光することを目的としている。Pt/C多層膜集光ミラー、硬X線波面補正計測法、高精度ビームプロファイル計測法などを開発し、理想的な集光ビームを実現している。本発表では、2次元集光システムの開発と顕微鏡への応用を中心に報告する。