精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会春季大会
セッションID: G03
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シミュレーションを用いた硬X線用形状可変ミラー設計に関する研究
*中森 紘基松山 智至今井 将太木村 隆志三村 秀和佐野 泰久山内 和人
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抄録
第三世代放射光施設が発するX線光源を最大限に利用するためには,集光光学系が必要である.我々はその集光光学系として,表面形状を変形可能なアダプティブミラーの開発を行っている.アダプティブミラーを集光光学系として利用することで,光学系を換装することなく,開口数・集光ビームサイズが可変な回折限界ビームが実現可能である.本研究では,アダプティブミラーの設計と,有限要素法による解析を行った.
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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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