硬X 線集光用ナノ精度形状可変ミラーの開発（第２報） 形状可変ミラーを用いた波面制御の結果

今井 将太; 木村 隆志; 三村 秀和; 横山 光; 松山 智至; 佐野 泰久; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.497.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: G04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.497.0

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主催: 社団法人精密工学会

硬X 線集光用ナノ精度形状可変ミラーの開発（第２報）

形状可変ミラーを用いた波面制御の結果

*今井将太, 木村隆志, 三村秀和, 横山光, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

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キーワード: EEM, X線

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抄録

本研究の目的は硬X線集光を目的とした形状可変ミラーの開発である．現在X線集光に用いられる光学素子では集光径や焦点距離などのパラメータが固定であるのに対し，形状可変できる集光ミラーを開発することにより，パラメータ可変の光学系が可能となる．この光学系の実現により，さらなるX線分析技術の発展，新規研究分野の開拓が期待される．

責任著者(Corresponding author)

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