SPring-8硬X線ビームラインにおける高精度KBミラー型集光光学系の導入（3）

湯本 博勝; 小山 貴久; 寺田 靖子; 鈴木 基寛; 河村 直己; 水牧 仁一朗; 大橋 治彦

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.499.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: G06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.499.0

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主催: 社団法人精密工学会

SPring-8硬X線ビームラインにおける高精度KBミラー型集光光学系の導入（3）

*湯本博勝, 小山貴久, 寺田靖子, 鈴木基寛, 河村直己, 水牧仁一朗, 大橋治彦

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キーワード: X線ミラー, X線光学素子, 非球面ミラー, シンクロトロン放射光

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抄録

SPring-8において各々の実験系に最適化したKBミラー集光光学系の設計・導入を進めている．BL37XU，BL39XUの2ビームラインでは，100nm分解能を持つ蛍光X線分析や磁気円二色性分光法等を2011年5月にユーザー提供目標である．このため，KBミラー集光光学系の設計・最適化を行い，現在，光学系・実験系の開発と共に，高フラックス100nmビームを実現する延伸実験ハッチを建設中である．

責任著者(Corresponding author)

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