主催: 社団法人精密工学会
大阪大学 工学部 応用自然科学科 精密科学コース
理研 XFEL計画推進本部 利用グループ ビームライン建設チーム
大阪大学 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
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現在,高輝度,高空間コヒーレンス,超短パルスという性能を持つX線自由電子レーザーの開発が進んでいる.我々は超短パルスという性質を生かして時間分解研究を行うためのオートコリレータの完成を目指している.本報では格子歪みの除去が可能であるPlasma Chemical Vaporization Machining (PCVM) を用いたSi単結晶ビームスプリッタの作成,評価を行ったので結果を報告する.
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