磁気混合流体（MCF）を利用した炭化珪素の精密研磨

抄録

炭化珪素（SiC）は，耐食性・耐摩耗性・耐熱性に優れており，近年，金型の材料として利用されることが大いに期待されている．しかし，難加工材であるため，要求される仕上げ面の実現に向けた研磨工程において，精密に仕上げることが問題となっている．本報では，炭化珪素の高能率研磨を目指して，磁気混合流体(MCF)をベースとしたスラリーを利用し，その構成成分を始め研磨条件の最適化を実験的に図った結果を報告する．