磁気混合流体（MCF）を利用した石英ガラスの平坦化研磨

盛 竜太郎; 呉 勇波; 藤本 正和; 林 偉民; 島田 邦雄

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.523.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: G23

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.523.0

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主催: 社団法人精密工学会

磁気混合流体（MCF）を利用した石英ガラスの平坦化研磨

*盛竜太郎, 呉勇波, 藤本正和, 林偉民, 島田邦雄

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キーワード: 磁気混合流体, 石英ガラス, 平坦化研磨

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抄録

近年，液晶モニタや光学レンズの急速な普及に伴い，それに利用される石英ガラス製デバイスを安価に大量生産できる加工技術が求められている．石英ガラスは熱・化学的安定性に優れる反面，難加工材であるため製品に要求される粗さや平坦性の実現が容易ではない．本報では，磁気混合流体(MCF)をベースにしたスラリーを利用し，石英ガラスの平坦性の高い高精度仕上げを目指した実験研究の結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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