X線CT装置計測を用いたMEMSリバースエンジニアリング

第1報 試作サンプルによる計測実験とデータ解析例

抄録

本報では、X線CT装置計測を用いたMEMSリバースエンジニアリングの試行について述べる。本研究は、MEMSデバイスのばらつきや欠損を調べ、設計へそれらの情報をフィードバックすることを目的としている。今回は、試作サンプルのMEMSデバイスをX線CT装置で計測し、その画像データから3次元形状を抽出してデータ解析を行った結果について報告する。