シリコン太陽電池製造に向けたPFCガスフリーな大気圧ドライエッチング技術の開発

抄録

現在Si系太陽電池の製造工程には，ウェット，ドライ，真空など様々な環境下での表面処理技術が用いられており，製造コストの増大につながっている。我々のグループでは、大気圧一貫かつドライ環境下での太陽電池表面処理を可能とするPFCガスフリーな大気圧ドライエッチング技術の開発を行っている。今回は，RFおよびVHFを駆動周波数として選択し，それぞれの周波数での処理特性を明らかにしたのでその結果を報告する。