高圧水素プラズマ化学輸送法により形成した微結晶SiC薄膜の構造が電気特性に及ぼす影響

堀 貴博; 垣内 弘章; 安武 潔; 大参 宏昌

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.69.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: A68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.69.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

高圧水素プラズマ化学輸送法により形成した微結晶SiC薄膜の構造が電気特性に及ぼす影響

*堀貴博, 垣内弘章, 安武潔, 大参宏昌

著者情報

キーワード: 太陽電池, 大気圧プラズマ, SiC

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

太陽電池の普及拡大のためには，太陽電池のさらなる高効率化・低コスト化に向けた取り組みは必須である．この様な背景から，我々は高圧力の水素プラズマを用いた大気圧プラズマ化学輸送法 (APECT法)によりn型SiC薄膜をp型Si基板上へ形成する手法の開発に取り組んでいる．今回このAPECT法を用いて，微結晶SiC薄膜を形成し，その構造と電気特性を評価し，その相関性に考察を与えた結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）