精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会春季大会
セッションID: A69
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主催: 社団法人精密工学会

パルスプラズマ援用熱フィラメントCVD法による硬質炭素膜の合成
永島 清成, *齋藤 啓, 望月 佳彦, 大竹 尚登
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キーワード: ナノパルス, 熱フィラメント, CVD, 炭素膜, ダイヤモンド, DLC
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抄録
最高硬度を有するダイヤモンド膜及び高硬度高平滑性を有するDLC膜はコーティング材として利用が進んでいる．本研究はダイヤモンド膜に匹敵する高硬度かつDLC膜に匹敵する高平滑性を有する硬質炭素膜の合成を試みたものである．CH4とH2の混合ガスを原料として，加熱したTaフィラメントとナノパルスプラズマを併用して合成を行った．得られた薄膜のナノインデンテーション硬さは平均して50GPaと高硬度であった．
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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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