バッファ層が及ぼす圧電薄膜の格子歪みを考慮した結晶成長予測

抄録

格子不整合緩和のためバッファ層を導入した圧電薄膜の創製が行われており，著者らはバッファ層が及ぼす圧電薄膜の格子歪みを考慮した結晶成長予測手法を提案した．しかし，圧電薄膜の格子歪みは，バッファ層の膜厚増加に伴い変化する．そこで，格子歪みの違いが結晶成長に与える影響を検討すべく，量子化学計算によりバッファ層が及ぼす圧電薄膜の格子歪みを予測し，格子歪みの異なった圧電薄膜の結晶成長予測を行う．