パーティクルセンサの小型化に関する研究

抄録

クリーンルームの消費電力低減のため，クリーン度の空間分布を計測しクリーン度に合わせて空調を制御することが提案されている．クリーン度の計測のために，小型で安価なパーティクルセンサが求められている．そこで我々は，散乱光のシミュレーションを行い，レーザとフォトダイオードが平行な構造を持つパーティクルセンサを提案した．さらにそのセンサに必要なマイクロサイズの逆テーパ構造作製プロセスを実現した．