AFMカンチレバーを用いたMEMS振動子の振動評価法の研究

抄録

カンチレバーを用いたMEMSの振動評価法の構築を目的とする。 第１に試料のたわみモード（4.5MHz、振幅1nm）をレーザドップラ振動計で測定しリファレンスとした。第２にカンチレバーで試料をタッピングして周波数掃引に伴うカンチレバーの振幅変化を取得した。 結果両者の共振曲線は一致し、振動評価へのタッピング適用の可能性が示された。本結果を試料とカンチレバー間相互作用力のシミュレーションからも裏付けた。