金属酸化物微粒子の自己整列構造を用いたガスセンサ

粒子整列条件の検討とセンサ機能の評価

抄録

ディップコーティングを利用した微粒子自己組織化現象は簡易な装置構成、基板の一括処理が可能である為、低コストプロセスとして注目されている。また、基板に親水疎水もしくは凹凸構造をパターニングする事で選択的に配列が可能であり、懸濁液に分散させる材料を変えることで機能性を持たせた粒子を配列する事も可能である。この為、本研究では金属酸化物微粒子を利用してガスセンサの作製及びデバイス評価を試みたので報告する。