シリコンワンチップ型燃料電池の開発

抄録

1枚のシリコン基板に燃料流路，拡散層，触媒層，電解質層を一体成型したシリコンワンチップ型燃料電池を提案する．厚さ100μmのシリコン基板に陽極酸化により貫通した多孔質シリコン層を形成し，この多孔質部分に電解質成分を充填した．さらに，貫通した多孔質層の表裏両面に湿式めっきにより多孔質白金触媒層を形成した． 両表面に水素および酸素を供給したところ，22mW/cm2の出力が得られ，本新構造による発電を実証した．