弾性表面波による超小型高効率反応器に関する研究

抄録

弾性表面波(SAW: Surface Acoustic Wave)デバイスは製作プロセスが簡単であり、アクチュエータやセンサへの利用が可能である。本研究ではSAWデバイスを用いた流体アクチュエータの応用として、微小混合器デバイスを作製し、さらに流体アクチュエータと組み合わせて、SAWのみを駆動源とした微小連続流体混合チップを作製し、マイクロリアクターへの応用の検証を行った。その結果、SAWを用いることで連続流体の局部的で迅速な混合が可能となった。