圧電駆動式MEMSマイクロミラーの共振周波数付近における温度特性

抄録

MEMS(Microelectromechanical Systems)マイクロミラーは小型プロジェクタ、内視鏡、超小型顕微鏡などの光学スキャニングデバイスへの応用が期待されるが、MEMSは温度の影響を大きく受ける。本論文では圧電駆動式MEMSマイクロミラーの共振周波数付近の温度特性について述べる。