高精度CMMの開発（第4報） 系統誤差の低減

高村 智彦; 楊 平; 高橋 哲; 高増 潔; 佐藤 理; 大澤 尊光; 高辻 利之

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.793.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: K01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.793.0

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主催: 社団法人精密工学会

高精度CMMの開発（第4報）

系統誤差の低減

*高村智彦, 楊平, 高橋哲, 高増潔, 佐藤理, 大澤尊光, 高辻利之

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キーワード: 多点法, 干渉計, オートコリメーター, 三次元測定機, CMM

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抄録

高精度三次元測定機の開発のためには，ステージの運動学誤差の評価が重要である．本研究ではそのための手法として多点法を提案し，リニアステージの運動学誤差と参照ミラー形状を分離して評価する．前報では一軸を三つのレーザー干渉計と一つのオートコリメータで測定し，不確かさ10nmを達成した．本報ではヨーイングと系統誤差の関係を評価し，空気軸受けステージでより精密な測定を目指す．

責任著者(Corresponding author)

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