抄録
近年，産業用X線CT装置は，リバースエンジニアリングの発達とともに，測定機としての利用が多くなってきている．しかし，元来内部欠陥などの検査装置として発達してきているため，計測装置としての性能に関しては，未知の部分が多い．ドイツでは，すでに数社から寸法測定をするための専用のX線CT装置が開発され，その精度評価手法についてもドイツVDI/VDEガイドラインVDI/VDE 2630-1.4のドラフトが発行され，確立されてきている．このような状況の中で，昨年度より日本においてもX線CT装置の評価法に関する規格化活動を産総研を中心として実施してきている．本発表では，X線CT装置の寸法測定における能力を評価するためのゲージ開発について，その概要と評価結果について発表する．
