超小型MEMS 変位センサの特性に関する研究

抄録

モノリシック型MEMS超小型変位センサの研究開発を行っている。センサのサイズは3.0mm*3.0mm、厚さ1.3mmと非常に小さく、体積が既製品の約1/1000となっている。加えて簡単構造、直線変位・二軸の回転変位の検出が可能であることが特徴として挙げられる。この変位センサの作製、特性について研究を行った。