法線ベクトル検出型超精密形状測定法による球面ミラーの形状測定

抄録

次世代の高精度ミラーをナノメーターオーダで形状測定する法線ベクトル追跡型高速ナノ形状測定法を提案している。本測定法は、光の直進性を利用して、ミラーへの入反射光を一致させることから法線ベクトルを求め、表面各点での法線ベクトルと座標から、独自に開発したフーリエ級数展開最小自乗法を用いて、表面形状を算出する。本報では、R=400mmの金属球面ミラーを絶対形状測定した結果について述べる。