マシニングセンタに発生する幾何偏差の高精度検出 レーザによるロール検出

金丸 裕; 浅川 直紀; 中藪 俊博; 廣崎 憲一; 田村 陽一; 谷内 秀夫; 清水 昭裕; 川原 寛之; 天谷 浩一

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.803.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: K07

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.803.0

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主催: 社団法人精密工学会

マシニングセンタに発生する幾何偏差の高精度検出

レーザによるロール検出

*金丸裕, 浅川直紀, 中藪俊博, 廣崎憲一, 田村陽一, 谷内秀夫, 清水昭裕, 川原寛之, 天谷浩一

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キーワード: レーザ干渉計, 幾何偏差, 工作機械, 光学測定

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抄録

マシニングセンタには，テーブルやコラムの移動に伴って各種の幾何偏差（位置偏差と角度偏差）が発生する．本研究は，これらの全幾何偏差をマシニングセンタ上に固定配置したレーザ測長用の干渉計と反射鏡を用いてインプロセス測定することを目指している. 本報では，ロールの測定に着目して実験を行ったので,その結果について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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