多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討

繰返し性の無い変動をするゼロ点ずれの除去

抄録

多点法による形状測定ではゼロ点ずれと呼ばれる複数変位計間の感度方向の相対位置ずれが問題となる。我々は、測定方向に並べられた3台の変位計とその中の1台の変位計と対向する1台の変位計による反転測定結果から、繰返し性のある変動をするゼロ点ずれが除去できることを示した。今回は、変位計相対位置の変動を監視し補正することで、繰返し性の無い変動をするゼロ点ずれを除去する方法を検討する。