MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発

センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計

抄録

本研究では，３点法を利用した走査形状測定に用いる高分解能マルチカンチレバーをMEMS技術で製作する．３点法による走査形状測定では，3つのセンサの間隔に誤差が存在した場合，形状の演算値に誤差が生ずる．本報告では，まずセンサ間隔の誤差が形状測定に及ぼす影響をシミュレーションによって明らかにする．次に複数のセンサを高精度に配置して一体化させたマルチカンチレバーの基本設計を示す．