レーザトラッピングプローブを用いたナノ3次元形状計測に関する研究(第6報)

プローブ球不安定挙動の改善

抄録

物体の3次元形状をnmオーダー精度で計測可能な超高精度3次元座標計測器の開発のためのプローブ技術として、レーザトラッピングプローブを提案している。プローブは捕捉レーザの測定物による遮断、測定面に近づける方向などによって不安定な挙動を示す。本報では、これを捕捉レーザの偏光状態やプローブ形状によって改善する方法を検討した。