光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発 測定対象面傾斜角度の影響

村上 洋; 甲木 昭雄; 鬼鞍 宏猷; 佐島 隆生; 近藤 英二

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.811.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: K14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.811.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発

測定対象面傾斜角度の影響

*村上洋, 甲木昭雄, 鬼鞍宏猷, 佐島隆生, 近藤英二

著者情報

キーワード: 微細三次元形状測定機, 光ファイバ, ファイバプローブ, 測定, 微細穴, 微細形状

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

微細金型や超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，微小径の光ファイバプローブ（接触子直径5µm，シャフト径3µm）を用いることにより，低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，改良した試作機を用いた測定分解能評価実験結果および測定対象面傾斜角度が位置検出精度に及ぼす影響について述べる．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）