切削工具切れ刃形状の加工機上測定装置に関する研究

測定装置の評価と切れ刃形状測定実験

抄録

ダイヤモンド切削工具は非常に鋭利な切れ刃を持っており，その切れ刃稜丸み半径はおよそ数十から数百nmであるとされる．この工具は平面だけでなく微細なパターンを持つ表面の創成にも用いられている．光アライメントプローブを組み込んだAFM方式の形状測定装置を作成し，このようなダイヤモンド切削工具切れ刃形状の加工機上での形状計測を試みてきている．今回，作成した装置の特性について評価した結果を報告する．