定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第12報） 任意位相変調を実現する顕微観察装置の開発

藤井 大雄; 工藤 良太; 臼杵 深; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.831.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: K34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.831.0

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主催: 社団法人精密工学会

定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第12報）

任意位相変調を実現する顕微観察装置の開発

*藤井大雄, 工藤良太, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: 欠陥検査, 超解像光学, 定在波照明, 位相変調, インコヒーレント, コヒーレント

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抄録

本研究では，定在波照明を空間的にシフトさせ，取得した複数像をインコヒーレント結像に基づくアルゴリズムを用いて後処理することで超解像を行う．前報では，コヒーレント環境下への適応に向け，空間位相変調を施した像を複数像取得し合成する画像取得手法の検討を行った．本報では，任意位相変調の実現に向け，動的位相変調素子を用いた顕微観察装置の開発を行ったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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