精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会春季大会
セッションID: K33
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変調エバネッセント照明による三次元高分解能計測に関する研究(第一報)
単一ナノ粒子の高さ計測
*栗原 貴之杉本 竜一工藤 良太高橋 哲高増 潔
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抄録
内部全反射顕微法においてエバネッセント場内の蛍光微粒子の高さを計測する手法の研究を行った。この手法はエバネッセント光の深さ方向の強度分布が入射角に依存することを用いて、複数の入射角における散乱光強度変化の情報から蛍光微粒子の界面からの距離を計測するものである。提案手法の検証のために光学系および観察用試料を作成し、計測実験を行った。結果は粒子の高さを定性的に反映しており、提案手法の有用性が示された。
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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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