マイクロ放電による微小工具製作およびそれを用いた金型加工

抄録

マイクロボールエンドミルは金型の製作に代表される三次元微細形状の切削加工に多用されている。焼結ダイヤモンド（PCD）製ボールエンドミルの製作は研削による従来の手法では困難なため、本研究ではマイクロ放電加工法を用いて、PCD素材から切削加工に有利な半球状ボールエンドミルを製作した。そして製作した工具を用いて超硬合金にマイクロレンズアレイの高精度・高能率加工を試みた。