マイクロ超精密切削に関する研究

田中 裕介; 周 天豊; 閻 紀旺; 厨川 常元

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.855.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: K63

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.855.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

マイクロ超精密切削に関する研究

*田中裕介, 周天豊, 閻紀旺, 厨川常元

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キーワード: 超精密切削, サブミクロン周期構造, 機能性表面

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抄録

表面にサブミクロン周期構造を製作したレンズ金型よって，機能性表面を有するレンズの成形が可能になる．本報では，V溝のマイクロ切削によるサブミクロン周期構造製作時の加工特性に関して検討した．加工面に現れるくぼみやマイクロバリの発生原因を有限要素法により明らかにし，くぼみを抑制するための加工法を提案した．

責任著者(Corresponding author)

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