超精密加工機による回折格子のバニシング加工

抄録

近年では超精密加工機による微細溝加工が行われるようになってきた。回折格子のブレーズ溝加工に超精密切削を適用するとバリの発生のため性能が低下することがある。バニシング加工法ではバリの発生が少なく、切削加工に比べ加工面の表面性状を向上することが可能である。本報では、加工自由度の高い５軸の超精密加工機によって回折格子のバニシング加工を実施し切削と比較した結果について報告する。