差動検出によるセルフセンシング圧電アクチュエータ制御の高精度化

抄録

圧電アクチュエータは、そのヒステリシス特性を補正し、精度の良い変位制御を行うためには、位置センサーを用いたフィードバック制御を必要とする。本研究では、サンプルにバイモルフアクチュエータを使用し、位置センサーを用いる代わりに、アクチュエータの動作に影響を与えない高周波電圧を印加して、それに対応する電流量を測定する方法を工夫することで、高精度の変位制御を可能にした。