共振モードを利用した中空管マイクロポンプの液送機能向上手法の研究

抄録

著者らは流路部とポンプ部を一体化し，アクチュエータとして円筒型PZTを細管上に装着した中空管マイクロポンプを提案しており，実際に液送機能を確認している．既報では，FEMによる動的圧電解析を行い，液送機能向上を目的としたアクチュエータの共振モードにおける駆動条件を検討した．本報告では，アクチュエータの共振モード時における液送機能確認実験を行い，中空管マイクロポンプの高機能化手法について検討を行った．