水熱合成PZT薄膜を用いた球面型超音波トランスデューサの作製と評価

抄録

水熱合成法は3次元形状の複雑な基板にも容易にPZT薄膜を成膜でき、小型の圧電アクチュエータへの応用が期待される。本研究では、直径2mmと10mmの砲弾形状に加工したチタン材に、水熱合成法によりPZT薄膜を成膜し超音波トランスデューサを作製した。そして、超音波トランスデューサを水中での超音波送信実験により評価した。