２重三点法による回転振れ測定の提案

抄録

ハードディスクや光ディスクの高密度化にともない、回転軸受に要求される回転精度はますます高くなっている。特に近年では、NRROの検出分解能のみならず高次成分に対する測定も要求されている。これまでの3点法では、高次成分が欠落する可能性を指摘し、これを補完する方法として３点法を2重化することにより回転振れを測定する方法を提案し、エアースピンドルによる測定実験により本手法の有効性を示している。