磁気浮上方式による超精密ステージの開発

抄録

半導体露光装置等で必要とされる超精密磁気浮上ステージの開発を通じて，超精密位置決め技術の向上に取り組んできた。機構・制御一体設計、特殊アクチュエータ、高速高精度モーションコントロールシステム等の超精密要素技術を組み合わせることで，ナノレベルの位置決め精度と高い加減速特性を実現した。本報告では，超精密磁気浮上ステージ開発の概要と，主な評価結果について報告する。