高精度水平多関節型機構による位置決め精度の改善 リンクパラメータの校正によるかたより誤差の低減

深田 茂生; 清水 洸輔; 久保村 洸太

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.13.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: A08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.13.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

高精度水平多関節型機構による位置決め精度の改善

リンクパラメータの校正によるかたより誤差の低減

*深田茂生, 清水洸輔, 久保村洸太

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キーワード: 精密位置決め, 水平多関節型機構, 位置決め精度, 精度測定, 誤差補正

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抄録

前報では，1 micronの理論位置決め分解能を目標仕様として設計製作された高精度水平多関節型機構の位置決め精度を測定するため，ボールプレートと非接触変位センサを用いた測定システムを構成した．本報では，本測定システムにより得られた位置決め精度測定結果からリンクパラメータを校正して精度向上を図る方法を提案している．また，本方法による精度向上の効果を実験により検証している．

責任著者(Corresponding author)

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