ピエゾアクチュエータ用高剛性変位拡大機構の開発

抄録

ころの転動動作を用いた、ピエゾアクチュエータ用の変位拡大装置を試作した。本拡大装置は、新機構により従来の２倍の拡大変位を得ることができる。この装置に変位量0.1μmのピエゾアクチュエータを組込み、20倍の変位拡大を試みた。性能検証の結果、最大変位量1.963mm（拡大倍率　約20倍）、stiffness 0.128N/μm、周波数応答115Hz（ピーク）を確認した。高剛性・高倍率を両立した拡大装置とすることができた。