微小物体を対象とした非接触超音波支持機構の作用力測定

第4報　対象物形状の影響

抄録

超音波振動子の振動面近傍で板状物体が浮揚する近距離場音波浮揚現象において鉛直下向きでの物体の非接触支持が可能であり、振動面中心へ物体を引き込む水平方向復元力が作用することが確認されている。本報では対象物の形状（表面粗さ及び厚さ）が吸引力特性に及ぼす影響を実験的に調べた．