c-BN膜の耐熱特性2

抄録

我々のグループは、c-BN膜の応用研究を行っている。アルミダイカストプロセスに対する応用で、c-BN膜はヒートショックにより剥離しない特性が必要である。我々のヒートショックテストは300℃と700℃の繰り返しを実施した。中間層のTi膜を除去したc-BN膜は、ヒートショックテストで剥離しないことが判った。