DLC膜表面のグラフェン化による導電性の付与

丸田 裕典; 大竹 尚登

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.317.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: E07

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.317.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

DLC膜表面のグラフェン化による導電性の付与

*丸田裕典, 大竹尚登

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キーワード: グラフェン, ダイヤモンドライクカーボン

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抄録

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は機械工具等の表面に適用されているが，絶縁性であり電極等には適用できない．本研究は，導電性をDLC膜表面に付与するため，導電性に優れ，かつ低い摩擦係数を示すグラフェンをDLC膜表面に形成することを目的として，DLC膜上に金属を積層して加熱し，DLC膜中の炭素原子を金属中に拡散させ、炭素の過飽和現象を利用して，DLC膜上にグラフェンを形成することを試みた．

責任著者(Corresponding author)

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