高圧電性を示すPZT用のAu-Pt複合バッファ層の表面観察

滝田 力也; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.321.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: E09

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.321.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

高圧電性を示すPZT用のAu-Pt複合バッファ層の表面観察

*滝田力也, 槌谷和義, 上辻靖智

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キーワード: PZT, バッファ層, スパッタリング, AFM

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抄録

本研究はAu(111)とPt(111)が交互に配列をしたバッファ層上に，PZT(111)とPZT(110)が交互に配列をした高圧電性を示すPZT薄膜創製を行うことが目的である．しかし同バッファ層にはAu(111)とPt(111)以外の面方位を有する多結晶構造であることから，Si基板表面自然酸化膜を除去した高結晶配向性バッファ層の創製を目的とする．本報告はAFMを使用しSi基板およびAu-Pt複合バッファ層の表面観察を行い，最良な創製条件を探索する．

責任著者(Corresponding author)

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