数値制御電解加工による金属ミラーの形状創成加工（第２報）

同軸ノズル電極の基礎加工特性

抄録

本研究では、中性子集光用金属製非球面ミラー基板の、高能率かつ高精度な形状修正加工法として小径電極による数値制御電解加工法の適用を検討している．電解液に塩化ナトリウム溶液を用いた際、加工物表面の低電流密度領域で表面粗さが悪化することが知られている。本稿では、電極直下に電解領域を制限する同軸ノズル電極を開発し、触針式表面粗さ測定器と走査型電子顕微鏡により加工後表面の表面粗さを評価した結果を報告する。