静電誘導給電法を用いた微細電解加工における極間距離の制御

小谷野 智広; 国枝 正典

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.345.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: E32

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.345.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

静電誘導給電法を用いた微細電解加工における極間距離の制御

*小谷野智広, 国枝正典

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キーワード: 微細電解加工, 静電誘導給電法, 容量結合, 短パルス

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抄録

静電誘導給電法を用いた微細電解加工においては短パルスの電流が容易に得られるという特徴があり，これまでに数μmの極間距離での加工が可能となっている．これまでの実験では，主軸の送り制御を行わず，定速送りで加工を行っていた．本報では，より安定した加工を行うために，主軸の送り制御による加工中の極間距離の制御を試み，加工を行った結果について述べる．

責任著者(Corresponding author)

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