透明体電極を用いた放電加工現象の観察

北村 朋生; 国枝 正典; 阿部 耕三

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.361.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: E44

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.361.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

透明体電極を用いた放電加工現象の観察

*北村朋生, 国枝正典, 阿部耕三

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キーワード: 放電加工, 透明体電極, SiC単結晶, 連続放電, 放電発生位置, 気泡

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抄録

放電加工は，周期が短く頻度の高い放電が，絶縁性の加工液中で極間距離が数十μmと非常に狭い空間で生じる現象であることから，複雑な現象であるうえ，放電現象の直接観察は非常に困難である．一方，SiC単結晶材料は不純物濃度によって電気伝導率，光の透過率が変化する．そこで導電性，透過性を有するSiC単結晶ウェハを工作物に用いて放電加工を行い，SiCを通して極間の様子を観察し，極間における放電現象を調査した．

責任著者(Corresponding author)

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