ダイヤモンドワイヤーによる多結晶シリコンのスライス特性

抄録

近年，結晶系太陽電池の基板材料であるシリコンウエハの製造工程において，ダイヤモンドワイヤーを用いるスライス方式へ移行しつつある．本研究では，課題が多く移行が遅れているとされる多結晶シリコンについて，結合材差（レジン，電着）での試験を行い，スライス特性について確認した．その結果，レジンワイヤーを用いる場合，電着ワイヤーを用いるよりもウエハ抗折強度が高いことが分かった．