精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会秋季大会
セッションID: F07
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中性子集光用回転楕円ミラーの作製 第IV報
小径球面パッドを用いた形状修正研磨における体積加工速度の安定化
*山崎 健太, 永野 幹典, 光嶋 直樹, 山村 和也, 丸山 龍治, 林田 洋寿, 山崎 大, 曽山 和彦
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抄録
大きな発散角を有する中性子ビームを大強度かつ高効率に試料へと集光するため、多重回転体非球面スーパーミラーの開発が求められている。我々は、高精度な自立型回転体スーパーミラーを作製するため母型に石英基盤を用いたレプリカ法を提案している。本研究では、加工中の体積加工速度変動の原因の一つであるパッドの劣化を調査した。その結果から最適な球面パッドを選定することで、加工中の体積加工速度変動の抑制を試みた。
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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