酸化亜鉛添加による酸化ジルコニウム砥粒スラリーの研磨特性

李 承福; 桐野 宙治; 谷 泰弘

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.43.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: A32

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.43.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

酸化亜鉛添加による酸化ジルコニウム砥粒スラリーの研磨特性

*李承福, 桐野宙治, 谷泰弘

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キーワード: 研磨特性, 添加材, 酸化ジルコニウム, 酸化亜鉛, 砥粒, スラリー

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抄録

ガラス加工に広く用いられている酸化セリウム(CeO2)砥粒の代替砥粒として酸化ジルコニウム(ZrO2)砥粒に着目し，代替砥粒としての可能性について検討を行った．酸化セリウム砥粒の研磨特性に対し，酸化ジルコニウム砥粒スラリーに添加材として酸化亜鉛を加えて研磨特性を調べた．その結果，研磨特性としての表面粗さは酸化セリウム砥粒を用の場合より優れた値と研磨率は酸化ジルコニウム砥粒の場合より優れた結果などが確認できた．

責任著者(Corresponding author)

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